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空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:獵戶(hù)座 3100S 空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)軟件可以實(shí)時(shí)觀察、實(shí)時(shí)測(cè)量、實(shí)時(shí)操作對(duì)不同空間不同位置的NH3、HCL、HF進(jìn)行分析,軟件專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā),對(duì)于深紫外光刻工藝過(guò)程中監(jiān)測(cè)與控制空氣分子污染(AMC)提供有力的支持,軟件集成了多點(diǎn)采樣(MS)控制功能,具有實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)曲線、報(bào)警、存儲(chǔ)、趨勢(shì)、歷史曲線、分析等功能。

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獵戶(hù)座3100系統(tǒng):完善的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染(AMC )對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要。

快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類(lèi)、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類(lèi)等濃度測(cè)量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí),將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過(guò)程太復(fù)雜,昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。


CEAS (腔增強(qiáng)吸收光譜)---原理

基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)的儀器原理圖,使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量,測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成,激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器(FSR=2.00GHz)時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。

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EP增強(qiáng)型版本集成了壓力傳感器和內(nèi)部溫度控制器,具有超穩(wěn)定性測(cè)量腔室,防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差。

       CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)相比于第一代的CRDS(腔衰蕩光譜)技術(shù),有許多已被證明的優(yōu)勢(shì)。簡(jiǎn)而言之,激光束不需要 共振耦合進(jìn)入測(cè)量腔室(例如光束不需要嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn))。DUKE分析儀器和系統(tǒng)具有天生安裝簡(jiǎn)單、機(jī)械牢固、防護(hù)結(jié)實(shí)等特點(diǎn)。


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